GB/T 6620-2009
Метод испытаний для измерения коробления кремниевых пластинок бесконтактным сканированием (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 6620-2009
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2009
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Последняя версия
- GB/T 6620-2009
- заменять
- GB/T 6620-1995
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод бесконтактного испытания на коробление отрезных, шлифовальных и полировальных дисков из монокристалла кремния. Настоящий стандарт распространяется на измерения круглых кремниевых пластин диаметром более 50 мм и толщиной более 180 мкм. Этот стандарт также подходит для измерения коробления других полупроводниковых пластин. Целью данного метода испытаний является входная приемка материалов или контроль процесса. Этот метод испытаний также подходит для мониторинга термохимических эффектов коробления пластин во время обработки устройств.
GB/T 6620-2009 Ссылочный документ
- GB/T 14264 Терминология полупроводниковых материалов*， 2024-04-25 Обновление
- GB/T 2828.1 Процедура проверки путем подсчета выборки, часть 1: План выборочного контроля по партиям, полученный по пределу приемочного качества (AQL)*， 2013-02-15 Обновление
- GB/T 6618 Метод испытания толщины и изменения общей толщины пластинок кремния
GB/T 6620-2009 История
- 2009 GB/T 6620-2009 Метод испытаний для измерения коробления кремниевых пластинок бесконтактным сканированием
- 1995 GB/T 6620-1995 Метод испытаний для измерения коробления кремниевых пластинок бесконтактным сканированием
Специальные темы по стандартам и нормам
Метод испытания пластика на коробление
Бесконтактный
Метод испытания на коробление
Измерение коробления за рубежом
Метод измерения коробления
Коробление полупроводниковой кремниевой пластины
Измерение деформации подложки
Метод измерения коробления пластика
Таблица испытаний на коробление
Обнаружение деформации пластины
Стандартный лист коробления
тестовая пластина
стандарты и спецификации
ASTM F657-92(1999 Стандартный метод испытаний для измерения деформации и общей вариации толщины (TTV) кремниевых пластин бесконтактным сканированием
ASTM STP 1340-1998 Измерение времени жизни рекомбинации в кремнии
SEMI MF 1530-0707-2007 Метод испытания для измерения плоскостности, толщины и общей вариации толщины кремниевых пластин с помощью автоматического бесконтактного сканирования
ASTM F533-02 Стандартный метод испытаний толщины и изменения толщины кремниевых пластин
ASTM F533-96 Стандартный метод испытаний толщины и изменения толщины кремниевых пластин
DANSK DS/EN ISO 10360-13:2021 Геометрические характеристики продукции (GPS). Приемочные и повторные поверочные испытания координатно-измерительных систем (CMS). Часть 13. Оптическая 3D CMS
CNS 12878-1991 Методы испытаний упаковки тканых и трикотажных полотен в мешки
DS/ISO 230-10:2011 Правила испытаний для станков. Часть 10. Определение измерительных характеристик измерительных систем станков с числовым программным управлением
ASTM F533-02a Толщина кремниевой пластины и метод измерения ее изменения
BS EN 12697-13:2000 Битумные смеси. Методы испытаний горячего асфальта. Измерение температуры