ASTM F657-92(1999)
Стандартный метод испытаний для измерения деформации и общей вариации толщины (TTV) кремниевых пластин бесконтактным сканированием
- Стандартный №
- ASTM F657-92(1999)
- Дата публикации
- 1992
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- Последняя версия
- ASTM F657-92(1999)
- сфера применения
-
1.1 Настоящий метод испытаний охватывает бесконтактную, неразрушающую процедуру определения коробления и изменения общей толщины (TTV) чистых, сухих кремниевых пластин в свободном (незажатом) состоянии. В этой процедуре для определения деформации используется трехточечная опорная плоскость задней поверхности.
1.2 Метод испытаний применим к круглым кремниевым пластинам диаметром 50 мм или более и толщиной 100 мкм (приблизительно 0,004 дюйма) и более, независимо от изменения толщины и качества поверхности. Метод испытаний применим к пластинам полупроводников, отличных от кремния, с такими же физическими характеристиками.
1.3 Этот метод испытаний не предназначен для измерения плоскостности поверхности; Деформация, которую не следует путать с плоскостностью, является объемным свойством пластины.
1.4 Этот метод испытаний позволяет измерить коробление или TTV пластины без приложения механической силы во время испытания. Таким образом, описанная процедура дает неограниченное значение деформации или TTV. Отклонение, вызванное силой тяжести, изменяет форму пластины и учитывается при измерении.
1.5 Для кремниевых пластин диаметром 3 дюйма или меньше значения, указанные в единицах дюйм-фунт, следует считать стандартными; значения, указанные в допустимых метрических единицах в скобках, предназначены только для информации. Для кремниевых пластин диаметром более 3 дюймов значения, указанные в приемлемых метрических единицах, должны рассматриваться как стандартные, независимо от того, указаны они в скобках или нет; Единицы измерения дюйм-фунт предназначены только для информации.
1.6 Настоящий стандарт не претендует на решение проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F657-92(1999) История
- 1992 ASTM F657-92(1999) Стандартный метод испытаний для измерения деформации и общей вариации толщины (TTV) кремниевых пластин бесконтактным сканированием
