GB/T 29507-2013 (Англоязычная версия) Метод испытаний для измерения плоскостности, толщины и изменения общей толщины кремниевых пластин. Автоматическое бесконтактное сканирование.

Стандартный №: GB/T 29507-2013
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2013
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 29507-2013

сфера применения: Настоящий стандарт определяет испытания на плоскостность, толщину и общее изменение толщины кремниевых пластин диаметром не менее 50 мм и толщиной не менее 100 мкм при резке, шлифовке, коррозии, полировке, эпитаксии или других состояниях поверхности. Этот стандарт представляет собой неразрушающий метод бесконтактного автоматического сканирования, подходящий для испытаний на плоскостность и толщину чистых и сухих кремниевых пластин, на него не влияют изменения толщины кремниевой пластины, состояния поверхности и формы кремниевой пластины. ,

GB/T 29507-2013 Ссылочный документ

2013 GB/T 29507-2013 Метод испытаний для измерения плоскостности, толщины и изменения общей толщины кремниевых пластин. Автоматическое бесконтактное сканирование.