GB/T 1554-2009
Метод испытания кристаллографического совершенства кремния методами избирательного травления (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 1554-2009

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2009

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 1554-2009

заменять

GB/T 1554-1995

сфера применения

Настоящий стандарт определяет метод проверки целостности кристаллов кремния методом преимущественного травления. Настоящий стандарт применяется к первичным дефектам в слитках или пластинах монокристалла кремния с ориентацией кристаллов или удельным сопротивлением 10 Ом•м~10Ом•м и плотностью дислокаций в диапазоне 0–10 см при проверке. Этот метод также применим к одиночным кремниевым пластинам.

GB/T 1554-2009 Ссылочный документ

• GB/T 14262-1993 Методы отбора и пробоподготовки флотационных свинцовых концентратов наливом
• YS/T 209-1994 Карта дефектов кремниевых материалов на месте

GB/T 1554-2009 История

• 2009 GB/T 1554-2009 Метод испытания кристаллографического совершенства кремния методами избирательного травления
• 1995 GB/T 1554-1995 Метод испытания кристаллографического совершенства кремния методами преимущественного травления