GB/T 6624-2009
Стандартный метод измерения качества поверхности полированных пластинок кремния путем визуального контроля (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 6624-2009
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2009
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Последняя версия
- GB/T 6624-2009
- заменять
- GB/T 6624-1995
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод визуального контроля качества поверхности монокристаллических полированных пластин при определенных условиях освещения. Настоящий стандарт распространяется на контроль качества поверхности полированных кремниевых пластин. К этому методу также можно отнести визуальный контроль качества поверхности эпитаксиальной пластины.
GB/T 6624-2009 Ссылочный документ
- GB/T 14264 Терминология полупроводниковых материалов*， 2024-04-25 Обновление
GB/T 6624-2009 История
- 2009 GB/T 6624-2009 Стандартный метод измерения качества поверхности полированных пластинок кремния путем визуального контроля
- 1995 GB/T 6624-1995 Стандартный метод измерения качества поверхности полированных пластинок кремния путем визуального контроля
Специальные темы по стандартам и нормам
полированный образец
поверхность кремния
Содержание кремниевого порошка на поверхности кремниевой пластины
Метод проверки кремниевых пластин
Проверка пластин
Проверка кремниевой пластины
Качество поверхности
Методы тестирования качества клейковины
Полированная кремниевая пластина
частицы кремниевой пластины
поверхность кремния
Обнаружение поверхностных частиц
стандарты и спецификации
GB/T 19922-2005 Стандартные методы испытаний для измерения плоскостности кремниевых пластин методом бесконтактного сканирования
YS/T 679-2008 Методы определения диффузионной длины неосновных носителей заряда в внешних полупроводниках путем измерения стационарной поверхностной фотоэдс
GB/T 6617-2009 Метод испытаний для измерения удельного сопротивления кремниевой пластины с использованием датчика сопротивления растекания
GB/T 14141-2009 Метод испытаний поверхностного сопротивления эпитаксиальных, диффузных и ионно-имплантированных слоев кремния с использованием коллинеарной четырехзондовой установки
GB/T 29507-2013 Метод испытаний для измерения плоскостности, толщины и изменения общей толщины кремниевых пластин. Автоматическое бесконтактное сканирование.
GB/T 14146-2021 Метод определения концентрации носителей заряда в эпитаксиальных слоях кремния — вольт-емкостный метод.