Настоящий стандарт охватывает определение длины плоской части края пластины. Настоящий стандарт распространяется на электротехнические материалы, номинальная длина прямой части края круглой пластины которых меньше или равна 65 мм. Этот стандарт только подтверждает точность кремниевых пластин, а ожидаемая точность не меняется в зависимости от материалов. Настоящий стандарт применяется к контрольным измерениям, а также может использоваться для обычных приемочных измерений, когда указанные пределы требуют большей точности, чем можно получить с помощью линейки и визуального контроля. Настоящий стандарт не затрагивает вопросы безопасности, даже если они связаны с использованием стандарта. Стандартный пользователь несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и определение сферы применения правил.
GB/T 13387-2009 Ссылочный документ
GB/T 14264-2009 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 2828.1-2003 Процедуры отбора проб для проверки по характеристикам. Часть 1. Схемы выборки, индексированные по пределу приемочного качества (AQL), для проверки каждой партии.
GB/T 13387-2009 История
2009GB/T 13387-2009 Метод испытаний для измерения плоских пластин кремния и других электронных материалов
1992GB/T 13387-1992 Метод испытаний для измерения плоской длины ломтиков электронных материалов