GB/T 26069-2022
Отожженные пластины монокристаллического кремния (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 26069-2022
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2022
- Разместил
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- Последняя версия
- GB/T 26069-2022
- заменять
- GB/T 26069-2010
- сфера применения
- Настоящий документ определяет классификацию, технические требования, методы испытаний, правила контроля, упаковку, маркировку, транспортирование, хранение, сопроводительную документацию и форму заказа пластин монокристаллического кремния отожженных (далее - пластины отожженные). Этот документ применим к кремниевым пластинам с определенной шириной чистой зоны, образованной на поверхности полированных кремниевых монокристаллических пластин в процессе отжига, и продукты используются в интегральных схемах с технологией поколения 180–22 нм.
GB/T 26069-2022 Ссылочный документ
- GB/T 12962 Монокристалл кремния
- GB/T 12965 Монокристаллический кремний в виде нарезанных и притертых пластин.
- GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
- GB/T 1550 Методы испытаний типа проводимости примесных полупроводниковых материалов
- GB/T 19921 Метод испытания частиц на полированных поверхностях кремниевых пластин
- GB/T 2828.1-2012 Процедура проверки путем подсчета выборки, часть 1: План выборочного контроля по партиям, полученный по пределу приемочного качества (AQL)
- GB/T 29507 Метод испытаний для измерения плоскостности, толщины и изменения общей толщины кремниевых пластин. Автоматическое бесконтактное сканирование.
- GB/T 32280 Метод испытания на коробление и изгиб кремниевых пластин. Метод автоматизированного бесконтактного сканирования.
- GB/T 39145 Метод определения содержания поверхностных металлических элементов на кремниевых пластинах — масс-спектрометрия с индуктивно связанной плазмой.
- GB/T 4058 Метод испытаний для обнаружения окислительных дефектов в полированных кремниевых пластинах
- GB/T 6616 Бесконтактный вихретоковый метод измерения удельного сопротивления полупроводниковых пластин и листов полупроводниковых пленок.*， 2023-08-06 Обновление
- GB/T 6624 Стандартный метод измерения качества поверхности полированных пластинок кремния путем визуального контроля
- YS/T 28 Вафельная упаковка
- YS/T 679 Измерение длины диффузии неосновных носителей заряда в примесных полупроводниках методом поверхностной фотоэдс
GB/T 26069-2022 История
- 2022 GB/T 26069-2022 Отожженные пластины монокристаллического кремния
- 2011 GB/T 26069-2010 Спецификация на кремниевые отожженные пластины
