ISO 14644-3:2019/Amd 1:2020
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний

Стандартный №

ISO 14644-3:2019/Amd 1:2020

Дата публикации

2020

Разместил

International Organization for Standardization (ISO)

Последняя версия

ISO 14644-3:2019/Amd 1:2020

сфера применения

В этом документе представлены методы испытаний в поддержку эксплуатации чистых помещений и чистых зон на предмет соответствия классификации чистоты воздуха, другим характеристикам чистоты и соответствующим контролируемым условиям. Испытания производительности проводятся для двух типов чистых помещений и чистых зон: с однонаправленным потоком воздуха и с неоднонаправленным потоком воздуха, в трех возможных состояниях присутствия: в исходном состоянии, в состоянии покоя и в рабочем состоянии. Приведены методы испытаний, рекомендуемое испытательное оборудование и процедуры испытаний для определения рабочих параметров. Если на метод испытаний влияет тип чистого помещения или чистой зоны, предлагаются альтернативные процедуры. Для некоторых испытаний рекомендуется использовать несколько различных методов и устройств с учетом различных соображений конечного использования. Альтернативные методы, не включенные в этот документ, могут использоваться по соглашению между заказчиком и поставщиком. Альтернативные методы не обязательно обеспечивают эквивалентные измерения. Этот документ не применим к измерению продуктов или процессов в чистых помещениях, чистых зонах или изолирующих устройствах. ПРИМЕЧАНИЕ. Этот документ не претендует на рассмотрение вопросов безопасности, связанных с его использованием (например, при использовании опасных материалов, операций и оборудования). Пользователь настоящего документа несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда, а также за определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ISO 14644-3:2019/Amd 1:2020 История

• 2020 ISO 14644-3:2019/Amd 1:2020 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний
• 2019 ISO 14644-3:2019 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний
• 2005 ISO 14644-3:2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний.

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации