BS ISO 17973:2016
Отслеживаемые изменения. Химический анализ поверхности. Электронные оже-спектрометры среднего разрешения. Калибровка энергетических шкал для элементного анализа

Стандартный №

BS ISO 17973:2016

Дата публикации

2016

Разместил

British Standards Institution (BSI)

состояние

быть заменен

быть заменен

BS ISO 17973:2024

Последняя версия

BS ISO 17973:2024

заменять

BS ISO 17973:2002

сфера применения

ISO 17973:2016 описывает стандартизированный метод калибровки энергетической шкалы оже-электронных спектрометров (ОЭС) с точностью ±3 эВ. Этот стандарт распространяется на приборы с разрешением ≤0,5% и требует использования электронной пушки с энергией пучка ≥4 кэВ и ионной пушки для очистки образца.

---

Ключевые технические моменты

Ключевые параметры	Требования	Методы испытаний
Эталонный образец	Комбинация Cu+Au или Cu+Al, чистота ≥99,8%	Пик O/C после ионного распыления <2% пик матрицы
Качество сигнала	Пик Cu L3VV ≥400 000 отсчетов на канал	Измерение в прямом режиме
Энергетическая система отсчета	Уровень вакуума или уровень Ферми	Для согласованности с данными XPS рекомендуется использовать уровень Ферми

---

Процесс выполнения калибровки

1. Подготовка образца: ионное распыление до загрязнения O/C <2% после очистки азотной кислотой
2. Настройки спектрометра: приоритет прямого режима, амплитуда модуляции дифференциального режима 2эВ_pp
3. Измерение опорного пика: Cu(M2,3VV/L3VV) и Au(M5N6,7N6,7) или Al(KL2,3L2,3)
4. Коррекция энергии: ΔE_corr = aE_meas + b линейная модель

Типичные Случай

Лаборатория обнаружила Cu при использовании Оже-спектрометра PHI 700. Пик L3VV сместился на 4,2 эВ. Используя метод трёхточечной калибровки, указанный в стандарте, были измерены значения a=0,0015 и b=-3,8. После коррекции отклонения каждого контрольного пика составили <1,5 эВ.

---

Сравнение Standard Evolution

Версия	Основные изменения	Техническое влияние
Версия 2002 г.	Исходная версия	Основано на отсчетах в секунду
Версия 2016 г.	Единица подсчета изменена на отсчеты на канал	Адаптировано к цифровой системе обнаружения

---

Рекомендации по внедрению

• Цикл калибровки: ≤3 месяцев для первого использования, которое может быть продлен после стабилизации
• Контроль качества: требуется повторная калибровка, если характерный дрейф пиковой энергии > 2 эВ в ежедневных образцах
• Отслеживание данных: запись параметров Δ_n, a, b, а также температуры и влажности окружающей среды