BS ISO 17974:2002(2010)
Химический анализ поверхности. Электронные оже-спектрометры высокого разрешения. Калибровка энергетических шкал для анализа элементного и химического состояния.

Стандартный №

BS ISO 17974:2002(2010)

Дата публикации

2010

Разместил

British Standards Institution (BSI)

Последняя версия

BS ISO 17974:2002(2010)

сфера применения

Настоящий стандарт устанавливает метод калибровки шкалы кинетической энергии оже-электронных спектрометров для элементного и химического анализа поверхностей. Он также устанавливает план калибровки для проверки линейности шкалы кинетической энергии, подтверждения неопределенности калибровки шкалы при низких и высоких значениях кинетической энергии, коррекции небольших дрейфов шкалы и определения расширенной неопределенности калибровки шкалы кинетической энергии с уровнем достоверности 95%. (Эта неопределенность учитывает влияние поведения, наблюдаемого в межлабораторных исследованиях, но не охватывает все возможные дефекты.) Он применим только к приборам, включающим ионную пушку для распылительной очистки. Он неприменим к приборам со значительной нелинейностью погрешности шкалы кинетической энергии в зависимости от энергии. Он также неприменим к приборам с относительным разрешением хуже 0,2% в режиме постоянного ΔE/E или хуже 1,5 эВ в режиме постоянного ΔE, приборам, требующим пределов допуска ±0,05 эВ или менее, или приборам, электронные пушки которых не могут работать в диапазоне энергий от 5 кэВ до 10 кэВ. Он не обеспечивает полную проверку калибровки для подтверждения энергии, измеренной в каждой адресуемой точке шкалы энергии, которая выполняется в соответствии с рекомендациями производителя.

BS ISO 17974:2002(2010) Ссылочный документ

• ISO 18115 Химический анализ поверхности - Словарь; Поправка 2

BS ISO 17974:2002(2010) История

• 0000 BS ISO 17974:2002(2010)
• 2002 BS ISO 17974:2002 Химический анализ поверхности. Электронные оже-спектрометры высокого разрешения. Калибровка энергетических шкал для анализа элементного и химического состояния.

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации