DIN ISO 15472 E:2019-09
Химический анализ поверхности - Рентгеновские фотоэлектронные спектрометры - Калибровка энергетических шкал

Стандартный №

DIN ISO 15472 E:2019-09

Дата публикации

2019

Разместил

German Institute for Standardization

состояние

быть заменен 2020-05

быть заменен

DIN ISO 15472:2020

Последняя версия

DIN ISO 15472:2020-05

сфера применения

Настоящий международный стандарт устанавливает метод калибровки шкалы энергии связи рентгеновских фотоэлектронных спектрометров, пригодных для общих аналитических целей с использованием либо немонохроматизированного рентгеновского излучения Al или Mg, либо монохроматизированного рентгеновского излучения Al. Настоящий стандарт распространяется только на приборы, оснащенные ионным пистолетом для распылительной очистки. В этом стандарте также указан метод установления графика калибровки, проверки линейности шкалы энергии связи при промежуточной энергии, подтверждения неопределенности калибровки шкалы при низком и высоком значении энергии связи, коррекции небольших дрейфов шкалы и определения расширенной неопределенности калибровки шкалы энергии связи при уровне достоверности 95%. Эта неопределенность учитывает влияние поведения, наблюдаемого в межлабораторных исследованиях, но не охватывает все возможные дефекты. Настоящий стандарт не распространяется на приборы со значительной нелинейностью погрешности калибровки связанной энергии, приборы, работающие в режиме постоянного коэффициента уменьшения с коэффициентами уменьшения менее 10, приборы с разрешением спектрометра хуже 1,5 эВ или приборы, требующие пределов допуска ±0,03 эВ или менее. Настоящий стандарт не предусматривает полную проверку калибровки, которая подтверждала бы энергию, измеренную в каждой адресуемой точке шкалы энергии, и должна выполняться в соответствии с рекомендуемыми производителем процедурами.

DIN ISO 15472 E:2019-09 Ссылочный документ

• ISO 18115-1 Химический анализ поверхности. Словарь. Часть 1. Общие термины и термины, используемые в спектроскопии.*， 2023-06-01 Обновление

DIN ISO 15472 E:2019-09 История

• 2020 DIN ISO 15472:2020-05 Химический анализ поверхности. Рентгеновские фотоэлектронные спектрометры. Калибровка энергетических шкал (ISO 15472:2010)
• 2020 DIN ISO 15472:2020 Химический анализ поверхности. Рентгеновские фотоэлектронные спектрометры. Калибровка энергетических шкал (ISO 15472:2010); Текст на английском языке
• 2019 DIN ISO 15472:2019-09 Проект документа - Поверхностный химический анализ - Рентгеновские фотоэлектронные спектрометры - Калибровка энергетических шкал (ISO 15472:2010); Текст на английском языке
• 2019 DIN ISO 15472 E:2019 Проект документа. Химический анализ поверхности. Рентгеновские фотоэлектронные спектрометры. Калибровка энергетических шкал (ISO 15472:2010); Текст на английском языке

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации