Этот стандарт определяет метод калибровки шкалы энергии связи рентгеновского фотоэлектронного спектрометра, который использует немонохроматические Al и Mg и монохроматический Al в качестве источника рентгеновского излучения возбуждения для обычных аналитических приложений. Настоящий стандарт действителен только для приборов, оснащенных ионной пушкой, способной очищать образец методом распыления. Кроме того, в этом стандарте описан метод планирования выполнения калибровки для проверки линейности шкалы оси энергии связи, проверки линейности шкалы при определенной промежуточной энергии и определения калибровочного значения. Прочтите диапазон ошибок. Определите неопределенности, которые калибруют неопределенность определенных значений высокой энергии связи и значений шкалы низкой энергии связи, таким образом калибруя поправку на небольшие изменения и расширенную неопределенность шкалы оси энергии связи с доверительными пределами 95%. Второй диапазон неопределенности охватывает межведомственные отношения, но не охватывает все недостатки, возникающие в спектроскопических приборах. Кроме того, этот стандарт определяет, что энергетическое разрешение спектрометра лучше 1,5 эВ при измерении с постоянным коэффициентом отклонения энергии менее 10, когда энергетическая шкала явно выходит за рамки линейности в следующих случаях: В худшем случае не может применяться, когда в качестве диапазона допуска требуется значение ±0,03 эВ или менее. Настоящий стандарт не является калибровкой шкалы энергетических осей для всех возможных энергетических точек, и такую калибровку следует выполнять в соответствии с рекомендациями производителя оборудования.
JIS K 0145:2002 История
2002JIS K 0145:2002 Химический анализ поверхности. Рентгеновские фотоэлектронные спектрометры. Калибровка энергетических шкал.