BS ISO 15472:2010
Химический анализ поверхности - Рентгеновские фотоэлектронные спектрометры - Калибровка энергетических шкал

Стандартный №

BS ISO 15472:2010

Дата публикации

2010

Разместил

British Standards Institution (BSI)

Последняя версия

BS ISO 15472:2010

заменять

08/30165177 DC:2008 BS ISO 15472:2001

сфера применения

Настоящий международный стандарт устанавливает метод калибровки шкалы энергии связи рентгеновских фотоэлектронных спектрометров, пригодных для общих аналитических целей, с использованием немонохроматического рентгеновского излучения алюминия или магния или монохроматического рентгеновского излучения алюминия. Он применим только к приборам, оснащенным ионной пушкой, предназначенной для очистки методом распыления. Настоящий международный стандарт также устанавливает метод составления графика калибровки, проверки линейности шкалы энергии связи при промежуточной энергии, подтверждения неопределенности калибровки шкалы при низких и высоких значениях энергии связи, коррекции небольших дрейфов шкалы и определения расширенной неопределенности калибровки шкалы энергии связи на уровне достоверности 95%. Эта неопределенность включает в себя вклады, обусловленные поведением, наблюдаемым в межлабораторных исследованиях, но не охватывает все возможные несовершенства. Настоящий международный стандарт не применим к приборам со значительной нелинейностью погрешности шкалы энергии связи в зависимости от энергии, приборам, работающим в режиме постоянного коэффициента уменьшения со коэффициентом уменьшения менее 10, приборам с разрешением спектрометра хуже 1,5 эВ или приборам, для которых требуются пределы допуска ±0,03 эВ или менее. Настоящий международный стандарт не предусматривает комплексную проверку калибровки, которая подтвердила бы энергию, измеренную в каждой адресуемой точке шкалы энергии, и должна выполняться в соответствии с рекомендуемыми производителем процедурами.

BS ISO 15472:2010 Ссылочный документ

• ISO 18115-1 Химический анализ поверхности. Словарь. Часть 1. Общие термины и термины, используемые в спектроскопии.*， 2023-06-01 Обновление

BS ISO 15472:2010 История

• 2010 BS ISO 15472:2010 Химический анализ поверхности - Рентгеновские фотоэлектронные спектрометры - Калибровка энергетических шкал
• 2001 BS ISO 15472:2001 Химический анализ поверхности. Рентгеновские фотоэлектронные спектрометры. Калибровка энергетических весов

стандарты и спецификации