BS ISO 17973:2024
Химический анализ поверхности. Электронные оже-спектрометры среднего разрешения. Калибровка энергетических шкал для элементного анализа

Стандартный №

BS ISO 17973:2024

Дата публикации

2024

Разместил

British Standards Institution (BSI)

Последняя версия

BS ISO 17973:2024

сфера применения

Анализ основного содержания стандарта

Технические параметры	Версия 2016 года	Основные изменения в версии 2024 года
Условия очистки образца	Конкретные параметры не указаны	Добавлен пример параметров аргоновой ионной пушки: 30 мкА/5 кэВ/1 см²/1 мин
Калибровка детектора	Основные эксплуатационные требования	Акцент на проверке линейной рабочей зоны и регулировке детектора старения план
Энергия пика сравнения	Эталонный показатель с фиксированным значением	Объяснение коррекции влияния увеличения энергии электронного пучка и разрешения

---

Подробное объяснение основных технических требований

Характеристики подготовки эталонного образца

Стандарт требует использования медной фольги (10×10×0,1-0,2 мм) с чистотой ≥99,8% в сочетании с золотой или алюминиевой фольгой:

• Рекомендуется предварительно обработать медные образцы 1% азотной кислотой и промыть дистиллированной водой
• После вакуумной очистки интенсивность пика углерода/кислорода должна быть <2% от основного пика металла
• Стандарт оценки качества сигнала: Cu L3VV прямой режим ≥400 000 отсчетов на канал

---

Процесс реализации калибровки энергетической шкалы

1. Выберите прямой режим (приоритетный) или дифференциальный режим (амплитуда модуляции 2 эВ)
2. Измерьте характерную пиковую энергию Cu/Au или Cu/Al в соответствии с эталонными значениями в таблице 3
3. Рассчитайте смещение Δn (формула 1) с допустимым отклонением ≤ 2 эВ
4. Создайте линейную модель коррекции E_corr=aE_meas+b (формула 2-5)

---

Стратегия управления циклом калибровки

Первоначальный интервал калибровки составляет 3 месяца. Если обнаружено Δn ≥ 2эВ, реализуется пошаговое снижение:

Количество отклонений	Скорректированный период	Требования к проверке
Первый	1,5 месяца	Требуется вторичная проверка
Вторичный	0,75 месяца	Восстанавливается после трехкратного соответствия стандарту

---

Фоновый анализ эволюции стандарта

Версия 2024 года в основном отвечает двум основным техническим потребностям:

• Решить проблему смещения энергии, вызванную нелинейной рабочей областью детекторов старения
• Унифицировать корреляцию данных между XPS (эталон уровня Ферми) и AES (эталон уровня вакуума)

Новый добавленный алгоритм сглаживания Савицкого-Голея (таблица 2) значительно повышает надежность измерений в условиях низкого отношения сигнал/шум.

BS ISO 17973:2024 История

• 2024 BS ISO 17973:2024 Химический анализ поверхности. Электронные оже-спектрометры среднего разрешения. Калибровка энергетических шкал для элементного анализа
• 2016 BS ISO 17973:2016 Отслеживаемые изменения. Химический анализ поверхности. Электронные оже-спектрометры среднего разрешения. Калибровка энергетических шкал для элементного анализа
• 2003 BS ISO 17973:2002 Химический анализ поверхности. Электронные оже-спектрометры среднего разрешения. Калибровка энергетических шкал для элементного анализа

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации