Настоящий стандарт определяет сорта и классификации, требования, методы испытаний, правила контроля, маркировку, упаковку, транспортировку, хранение, сертификаты качества и содержание заказа (или контракта) на травленые кремниевые пластины из монокристалла. Настоящий стандарт распространяется на шлифовальные листы монокристаллов кремния, изготовленные методом Чохральского и методом взвешенной зонной плавки (включая зонную плавку, нейтронную трансмутацию и газофазное легирование), а также листы, протравленные кислотой и щелочью, полученные путем удаления поверхностного поврежденного слоя химическим травлением. жидкость (далее – коррозионная пленка). Продукция в основном используется для изготовления полупроводниковых компонентов, таких как транзисторы, выпрямители, тиристоры сверхвысокой мощности и оптоэлектронные устройства, или подвергается дальнейшей переработке в полированные кремниевые пластины.
YS/T 1167-2016 Ссылочный документ
GB/T 11073 Стандартный метод измерения изменения радиального удельного сопротивления на срезах кремния.
GB/T 12965 Монокристаллический кремний в виде нарезанных и притертых пластин.*， 2018-09-17 Обновление
GB/T 13387 Метод испытаний для измерения плоских пластин кремния и других электронных материалов
GB/T 13388 Способ измерения кристаллографической ориентации плоских поверхностей на пластинах и пластинах монокристаллического кремния рентгеновскими методами
GB/T 14140 Метод испытаний для измерения диаметра полупроводниковой пластины
GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 14844 Обозначения полупроводниковых материалов*， 2018-12-28 Обновление
GB/T 1550 Методы испытаний типа проводимости примесных полупроводниковых материалов*， 2018-12-28 Обновление
GB/T 1555 Метод определения кристаллической ориентации монокристалла полупроводника*， 2023-08-06 Обновление
GB/T 20503 Анодирование алюминия и его сплавов. Измерение зеркального отражения и зеркального блеска под углами 20°, 45°, 60° или 85°.
GB/T 26067 Стандартный метод испытаний размеров надрезов на кремниевых пластинах
GB/T 2828.1 Процедура проверки путем подсчета выборки, часть 1: План выборочного контроля по партиям, полученный по пределу приемочного качества (AQL)
GB/T 29505 Метод испытаний для измерения шероховатости плоских поверхностей кремниевой пластины
GB/T 6616 Бесконтактный вихретоковый метод измерения удельного сопротивления полупроводниковых пластин и листов полупроводниковых пленок.*， 2023-08-06 Обновление
GB/T 6618 Метод испытания толщины и изменения общей толщины пластинок кремния
GB/T 6620 Метод испытаний для измерения коробления кремниевых пластинок бесконтактным сканированием
YS/T 26 Метод контроля контура края кремниевой пластины