GB/T 29505-2013 (Англоязычная версия) Метод испытаний для измерения шероховатости плоских поверхностей кремниевой пластины

Стандартный №: GB/T 29505-2013
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2013
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 29505-2013

сфера применения: Этот стандарт описывает принцип измерения, измерительное оборудование и процедуры трех методов, обычно используемых при измерении шероховатости поверхности кремниевых пластин: профилометра, интерферометра и скаттерометра, а также определяет стандартную схему положения сканирования и шероховатость локальной или всей области поверхность кремниевой пластины. Определение аббревиатуры. Настоящий стандарт применяется к измерению шероховатости поверхности плоской кремниевой пластины; его также можно использовать для других типов плоских материалов пластин, но он непригоден для измерения шероховатости края пластины. Настоящий стандарт не распространяется на измерительные приборы с полосой пропускания пространственной длины волны ≤ 10 нм.

GB/T 29505-2013 Ссылочный документ

2013 GB/T 29505-2013 Метод испытаний для измерения шероховатости плоских поверхностей кремниевой пластины