General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия
GB/T 30453-2013
сфера применения
Этот стандарт дает терминологию и карты морфологических особенностей различных собственных дефектов и тесно связанных с ними индуцированных дефектов кремниевых материалов, таких как поликристаллический кремний, монокристалл кремния, кремниевая пластина и кремниевая эпитаксиальная пластина. Проанализированы причины и методы устранения. Настоящий стандарт применим для проверки различных дефектов при производстве кремния, поликристаллического кремния, монокристалла кремния, кремниевых пластин и кремниевых эпитаксиальных пластин. Производственные исследования кремниевых устройств и интегральных схем также могут относиться к этому стандарту.
GB/T 30453-2013 Ссылочный документ
GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 1554 Метод испытания кристаллографического совершенства кремния методами избирательного травления
GB/T 4058 Метод испытаний для обнаружения окислительных дефектов в полированных кремниевых пластинах