Настоящий стандарт устанавливает требования, методы испытаний, правила контроля и маркировки, упаковки, транспортирования, хранения, сертификат качества и заказное (или договорное) содержание танталовых мишеней для распыления, используемых для изготовления тонких пленок. Настоящий стандарт распространяется на танталовые мишени для распыления (далее - танталовые мишени), изготовленные из слитков тантала высокой чистоты, расплавленных вакуумными электронными пучками в качестве сырья путем пластической обработки, термической обработки, механической обработки, сварки и других методов.