GB/T 4060-1983
Поликристаллический кремний. Метод исследования. Вакуумная зонная плавка на боре. (Англоязычная версия)

Стандартный №: GB/T 4060-1983
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 1983
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
состояние: быть заменен 2008-02
быть заменен: GB/T 4060-2007
Последняя версия: GB/T 4060-2018

сфера применения: Настоящий стандарт применим к кремниевым поликристаллическим стержням, выращенным водородным восстановлением трихлорсилана и тетрахлорида кремния для нанесения поликристаллического кремния на тонкие кремниевые сердцевины.

GB/T 4060-1983 История

2018 GB/T 4060-2018 Метод определения содержания бора в поликристаллическом кремнии методом зонной вакуумной плавки
2007 GB/T 4060-2007 Поликристаллический кремний. Метод исследования. Вакуумная зонная плавка на боре.
1983 GB/T 4060-1983 Поликристаллический кремний. Метод исследования. Вакуумная зонная плавка на боре.

Поликристаллический кремний. Метод исследования. Вакуумная зонная плавка на боре.

Специальные темы по стандартам и нормам

метод вакуум Вакуумный тест Вакуумный тест Метод проверки кремниевых пластин Метод обнаружения кристаллического кремния Проверьте вакуум кремниевый вакуум

стандарты и спецификации

ASTM F574-88 Оценка поликремния ISO 17560:2014 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Метод глубинного профилирования бора в кремнии ISO 17560:2002 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Метод глубинного профилирования бора в кремнии BS ISO 17560:2002 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Метод глубинного профилирования бора в кремнии GSO ISO 17560:2013 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Метод определения глубинного профиля бора в кремнии ASTM F1723-96 Стандартная практика оценки стержней из поликристаллического кремния методом выращивания кристаллов в плавающей зоне и спектроскопии ASTM F1723-02 Стандартная практика оценки стержней поликристаллического кремния с помощью выращивания кристаллов в зоне плавления и спектроскопии ASTM F1366-92(2002 Стандартный метод определения концентрации кислорода в сильнолегированных кремниевых подложках с помощью вторичной ионной масс-спектрометрии ASTM F1366-92(1997)e1 Стандартный метод измерения концентрации кислорода в сильнолегированных кремниевых подложках методом вторичной ионной масс-спектрометрии ASTM F41-90 Метод выращивания монокристалла кремния методом плавающей зоны и оценка слитка поликристаллического кремния

© 2025. Все права защищены.