IEC 62047-4:2008
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 4. Общие спецификации для МЭМС.

Стандартный №

IEC 62047-4:2008

Дата публикации

2008

Разместил

International Electrotechnical Commission (IEC)

Последняя версия

IEC 62047-4:2008

заменять

IEC 47/1975/FDIS:2008

сфера применения

В этой части IEC 62047 описаны общие спецификации для микроэлектромеханических систем (МЭМС), изготовленных из полупроводников, которые являются основой для спецификаций, приведенных в других частях этой серии для различных типов приложений МЭМС, таких как датчики, радиочастотные МЭМС, за исключением оптических МЭМС, био-МЭМС, микро-ТАС и энергетические МЭМС. Этот стандарт определяет общие процедуры оценки качества, которые будут использоваться в системах IECQ-CECC, и устанавливает общие принципы описания и тестирования электрических, оптических, механических и экологических характеристик. Эта часть IEC 62047 помогает в подготовке стандартов, определяющих устройства и системы, изготовленные с использованием технологии микрообработки, включая, помимо прочего, определение характеристик материалов и обращение с ними, сборку и испытания, методы управления процессом и измерения. МЭМС, описанные в этом стандарте, в основном изготовлены из полупроводникового материала. Однако положения настоящего стандарта также применимы к МЭМС, в которых используются материалы, отличные от полупроводников, например, полимеры, стекло, металлы и керамические материалы.

IEC 62047-4:2008 Ссылочный документ

• IEC 60027 Буквенные символы для использования в электротехнике (Редакция 4.0)
• IEC 60068-2 Испытания на воздействие окружающей среды - Часть 2: Испытания - ВСЕ ЧАСТИ*， 2025-01-06 Обновление
• IEC 60617 Графические символы для диаграмм - 12-месячная подписка на регулярно обновляемую онлайн-базу данных, включающую части 2 до 13 стандарта IEC 60617*， 2025-01-01 Обновление
• IEC 60747-1:2006 Полупроводниковые приборы. Часть 1: Общие сведения
• IEC 60749 Полупроводниковые приборы. Механические и климатические методы испытаний
• IEC 61193-2 Системы оценки качества. Часть 2. Выбор и использование планов выборочного контроля для проверки электронных компонентов и упаковок.
• IEC 62047-1 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 1. Термины и определения.*， 2016-01-01 Обновление
• ISO 1000 Единицы СИ и рекомендации по использованию их кратных и некоторых других единиц; Поправка 1
• ISO 2859-1  Процедуры отбора проб для проверки по признакам. Часть 1. Схемы выборки, индексированные по пределу приемочного качества (AQL), для проверки каждой партии; Техническое исправление 1

IEC 62047-4:2008 История

• 2008 IEC 62047-4:2008 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 4. Общие спецификации для МЭМС.

стандарты и спецификации