Стандарт определяет общие положения для применения в области микроэлектромеханических систем. В нем рассматриваются основные характеристики, требования к конструкции и методы испытаний, необходимые для обеспечения соответствия продукции. Документ устанавливает основные термины и определения, а также общие правила для применения в различных сферах. Стандарт также включает рекомендации по обеспечению безопасности и надежности устройств. В нем рассматриваются основные аспекты, связанные с производством и эксплуатацией микроэлектромеханических систем. Данный документ служит основой для разработки и применения спецификаций, связанных с MEMS.
*** Обратите внимание: это описание может быть неточным, обратитесь к официальной документации.