Данный стандарт содержит требования к калибровке образцов сопротивления, используемых для определения удельного сопротивления кремния. Он описывает методы измерений, условия проведения калибровки и допускаемые отклонения. В документе также указаны рекомендации по хранению и обращению с образцами. Стандарт устанавливает процедуры проверки точности и достоверности результатов, полученных при калибровке. Он включает в себя требования к оборудованию, используемому для выполнения измерений, а также к квалификации персонала, проводящего калибровку. Документ также содержит информацию о документации, необходимой для обеспечения прозрачности и воспроизводимости процесса калибровки.
*** Обратите внимание: это описание может быть неточным, обратитесь к официальной документации.