ASTM F673-02

Стандартный №

ASTM F673-02

Дата публикации

1970

Разместил

/

Последняя версия

ASTM F673-02

сфера применения

1.1 Настоящие методы испытаний охватывают неразрушающее измерение объемного сопротивления кремния и некоторых срезов арсенида галлия, а также поверхностного сопротивления тонких пленок кремния или арсенида галлия, изготовленных на ограниченном диапазоне подложек, в центральной точке среза с использованием бесконтактного вихревого датчика. текущий манометр. 1.1.1 Измерения проводятся при комнатной температуре от 18 до 28°С. 1.2 Эти методы испытаний в настоящее время ограничены монокристаллическим и поликристаллическим кремнием и объемными образцами арсенида галлия с внешней проводимостью или тонкими пленками кремния или арсенида галлия, изготовленными на подложках с относительно высоким удельным сопротивлением, но в принципе могут быть распространены на другие полупроводниковые материалы. 1.2.1 Объемные образцы кремния или арсенида галлия могут быть монокристаллическими или поликристаллическими и иметь любой тип проводимости (p или n) в виде пластинок (круглой или другой формы), свободных от диффузии или других проводящих слоев, которые изготовленные на нем, не имеющие трещин, пустот или других структурных нарушений и имеющие (1) размер от края до края, измеренный через центр среза, не менее 25 мм (1,00 дюйма); (2) толщина в диапазоне от 0,1 до 1,0 мм (от 0,004 до 0,030 дюйма) включительно и (3) удельное сопротивление в диапазоне от 0,001 до 200 В·см включительно. Не все комбинации толщины и удельного сопротивления могут быть измерены. Прибор будет принципиально ограничен фиксированным диапазоном сопротивления листа, например, указанным в 1.2.2; см. также 9.3. 1.2.2 Тонкие пленки кремния или арсенида галлия могут быть изготовлены методами диффузии, эпитаксии или ионной имплантации. Поверхностное сопротивление слоя должно находиться в номинальном диапазоне от 2 до 3000 В на кв. Подложка, на которой изготавливается тонкая пленка, должна иметь минимальный размер от края до края 25 мм, измеренный через центральную точку, и эффективное поверхностное сопротивление не менее 1000 3 от сопротивления тонкой пленки. Эффективное поверхностное сопротивление объемной подложки равно ее объемному удельному сопротивлению (в В·см), деленному на ее толщину в см. 1.2.3 Качество поверхности образца не влияет на результаты измерений. 1.3 Данные методы испытаний требуют использования эталонов удельного сопротивления для калибровки аппарата (см. 7.1) и набора эталонных образцов для аттестации аппарата (см. 7.1.2). 1.4 Значения, указанные в единицах СИ, следует рассматривать как стандартные. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1 Этот метод испытаний находится в ведении комитета ASTM F01 по электронике и является прямой ответственностью подкомитета F01.06 по кремниевым материалам и контролю процессов. Текущее издание утверждено 10 декабря 2002 г. Опубликовано в феврале 2003 г. Первоначально утверждено в 1980 г. Последнее предыдущее издание утверждено в 1990 г. как F 673 – 90 (1996)e1. 1 Авторские права © ASTM International, 100 Barr Harbour Drive, PO Box C700, Вест Коншохокен, Пенсильвания 19428-2959, США. ВНИМАНИЕ: Этот стандарт либо был заменен новой версией, либо прекращен. Свяжитесь с ASTM International (www.astm.org) для получения последней информации. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F673-02 Ссылочный документ

• ASTM E1 Стандартные спецификации для термометров ASTM*， 1998-10-26 Обновление
• ASTM E691 Стандартная практика проведения межлабораторного исследования для определения точности метода испытаний*， 1999-10-26 Обновление
• ASTM F1527 
• ASTM F374 
• ASTM F533 Стандартный метод испытаний толщины и изменения толщины кремниевых пластин*， 1996-10-26 Обновление
• ASTM F81 
• ASTM F84 

ASTM F673-02 История

• 1970 ASTM F673-02
• 1990 ASTM F673-90(1996)e1 Стандартные методы измерения удельного сопротивления срезов полупроводников или листового сопротивления полупроводниковых пленок бесконтактным вихретоковым датчиком