ASTM F1527-02

Стандартный №

ASTM F1527-02

Дата публикации

1970

Разместил

/

Последняя версия

ASTM F1527-02

сфера применения

1.1 В настоящем руководстве рассматривается применение сертифицированных эталонных материалов (CRM) для измерения удельного сопротивления на кремниевых пластинах. В частности, в этом руководстве рассматривается использование этих CRM для подготовки эталонных пластин удельного сопротивления и обеспечения качества приборов, используемых для их подготовки. 1.2 Настоящее руководство не оценивалось на предмет применения к электронным материалам, кроме кремния. 1.3 В руководстве рассматривается выбор материалов для эталонных пластин удельного сопротивления, процедуры подготовки и калибровки эталонных пластин удельного сопротивления, а также использование эталонных пластин удельного сопротивления при аттестации, калибровке и контроле различных типов приборов для измерения удельного сопротивления. 1.4 В руководстве представлены критерии выбора приборов для определения удельного сопротивления кремниевых эталонных материалов удельного сопротивления, процедуры содержания таких приборов при статистическом контроле качества, а также требования к обучению операторов, занимающихся изготовлением и использованием эталонных пластин удельного сопротивления. 1.5 Включены приложения, которые охватывают (1) предлагаемые процедуры построения контрольных карт для организаций, которые еще не имеют таких процедур, и (2) ошибки в определении удельного сопротивления, которые возникают из-за неопределенностей в диаметре пластины, ее толщине и расстоянии между наконечниками датчиков. 1.6 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F1527-02 Ссылочный документ

• ASTM D5127  Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности*， 1999-10-26 Обновление
• ASTM F1241 
• ASTM F1392 
• ASTM F1393 Стандартный метод испытаний для определения чистой плотности носителей заряда в кремниевых пластинах путем измерений профилировщиком обратной связи Миллера с помощью ртутного зонда*， 1992-10-26 Обновление
• ASTM F1529 Стандартный метод испытаний для оценки однородности сопротивления листов поточным четырехточечным датчиком с процедурой двойной конфигурации*， 2023-10-26 Обновление
• ASTM F1530 Стандартный метод испытаний для измерения плоскостности, толщины и изменения толщины кремниевых пластин путем автоматического бесконтактного сканирования*， 1994-10-26 Обновление
• ASTM F1618 Стандартная практика определения однородности тонких пленок на кремниевых пластинах*， 1996-10-26 Обновление
• ASTM F2074 
• ASTM F43 
• ASTM F525 
• ASTM F533 Стандартный метод испытаний толщины и изменения толщины кремниевых пластин*， 1996-10-26 Обновление
• ASTM F672 Стандартный метод испытаний для измерения профилей удельного сопротивления перпендикулярно поверхности кремниевой пластины с использованием зонда сопротивления растеканию*， 1988-10-26 Обновление
• ASTM F673 Стандартные методы измерения удельного сопротивления срезов полупроводников или листового сопротивления полупроводниковых пленок бесконтактным вихретоковым датчиком*， 1990-10-26 Обновление
• ASTM F723 
• ASTM F81 
• ASTM F84 
• ISO 10012-1 Требования к обеспечению качества измерительного оборудования; часть 1: Система метрологического подтверждения средств измерений*， 1992-01-01 Обновление
• ISO 8402 Управление качеством и обеспечение качества — Словарь*， 1994-03-24 Обновление

ASTM F1527-02 История

• 1970 ASTM F1527-02
• 2000 ASTM F1527-00 Стандартное руководство по применению кремниевых стандартных эталонных материалов и эталонных пластин для калибровки и контроля приборов для измерения удельного сопротивления кремния