ASTM F2074-00 - Стандарты и спецификации PDF

сфера применения: 1.1 В этом руководстве определены стандартные положения для измерения диаметра круглых пластин из кремния и других полупроводниковых материалов, содержащих лыски или выемки по периферии. Он был разработан для использования с кремниевыми пластинами стандартного диаметра и плоского положения, как указано в спецификациях SEMI M1. 1.2. Его можно применять и к другим полупроводниковым пластинам, если правильно принять во внимание плоские места. 1.3 Пластины любого размера могут быть измерены при наличии подходящих испытательных стендов и инструментов. 1.4 Округлость пластин не может быть определена на основе измерений, выполненных исключительно в положениях, определенных в этом руководстве. Никакой информации о диаметре пластины в других точках, кроме измеренных, не предоставляется.

ASTM F2074-00 История