DIN 50434:1986
Испытание материалов для полупроводниковой техники; обнаружение кристаллических дефектов в монокристаллическом кремнии методами травления на поверхностях {111} и {100}

Стандартный №

DIN 50434:1986

Дата публикации

1986

Разместил

German Institute for Standardization

состояние

снять со счета

Последняя версия

DIN 50434:1986

сфера применения

Настоящий стандарт определяет метод определения кристаллографического совершенства монокристаллического кремния методом травления на поверхностях {111} и {100}. Он применим к легированному кремнию n- или p-типа с удельным сопротивлением до 0,005 см и плотностями дислокаций в пределах 100 и 100 000 см.#,,#

DIN 50434:1986 История

• 1986 DIN 50434:1986 Испытание материалов для полупроводниковой техники; обнаружение кристаллических дефектов в монокристаллическом кремнии методами травления на поверхностях {111} и {100}