Данный стандарт устанавливает требования к высокопурным металлическим таргетам из иттрия. Стандарт включает технические характеристики, методы контроля качества и условия хранения для таких материалов. Он направлен на обеспечение единообразия и повышение уровня безопасности при производстве и использовании металлических таргетов из иттрия.
*** Обратите внимание: это описание может быть неточным, обратитесь к официальной документации.
XB/T 524-2023 История
2023XB/T 524-2023 Мишень для распыления иттрия высокой чистоты