GB/T 41852-2022
Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Методы испытаний на изгиб и сдвиг для измерения прочности сцепления для МЭМС-структур. (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 41852-2022

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2022

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 41852-2022

сфера применения

Технические характеристики сердечника

Цилиндрические образцы, служащие стандартным испытательным сердечником, должны соответствовать требованиям к размерам: диаметр 1 мкм – 1 мм, а также заданным параметрам соотношения сторон. Испытательная система должна включать датчик нагрузки с минимальным усилием 0,1 мН и систему контроля условий окружающей среды с коэффициентом теплового расширения ΔL ≤ 5×10⁻⁶/K.

---

Сравнение методов испытаний

Параметры	Испытание на изгиб	Испытание на сдвиг
Угол лопасти	10-20°	0-15°
Диапазон соотношения сторон	>1.2(нижний предел 0.5)	Нет особых ограничений
Типичная формула напряжения	σ=32Fl_c/(πD³)	τ=4F/(πD²)

---

Основные технические требования к образцам

Критерии проектирования

• Допуск диаметра ±2% | Постоянство длины CV≤5%
• Расстояние между соседними элементами > 2(D+l_c)
• Шероховатость поверхности Ra < 0,1 мкм

Типичные данные

Если у цилиндра из материала SU8 l_c/D=1,2, прочность на изгиб достигает 58±3 МПа; для того же материала, когда l_c/D=0,8, угол контакта увеличивается до 45°, а прочность увеличивается до 72МПа (подробности см. в стандартных данных испытаний Приложения А)

---

Ключевые рекомендации по внедрению

1. На этапе подготовки образца скорость осаждения обеспечивается на уровне ≤0,2 нм/с, а отклонение температуры отжига контролируется в пределах ±5°C.
2. В лаборатории поддерживается уровень чистоты ISO5 и стабильность окружающей среды ΔRH ≤ 5%.
3. Оборудование выполняет калибровку нулевой точки датчика силы каждые 24 часа с допуском <0,5% от полной шкалы.