NF EN 62047-16:2015 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 16. Методы испытаний для определения остаточных напряжений пленок МЭМС. Методы кривизны пластин и отклонения консольной балки
Данный стандарт относится к семейству нормативных документов по полупроводниковым устройствам и микромехатронным системам. Он включает методы испытаний для определения остаточных напряжений в пленках MEMS с использованием методов измерения кривизны подложки и отклонения балок-плавающих элементов. Этот стандарт представляет собой часть международного стандарта EN 62047, предназначенную для использования во франкоязычной Европе.
*** Обратите внимание: это описание может быть неточным, обратитесь к официальной документации.
NF EN 62047-16:2015 История
2015NF EN 62047-16:2015 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 16. Методы испытаний для определения остаточных напряжений пленок МЭМС. Методы кривизны пластин и отклонения консольной балки