GB/T 34649-2017
Магнетронное распыление рутениевой мишени (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 34649-2017

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2017

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 34649-2017

сфера применения

Интерпретация стандарта GB/T 34649—2017 на игольчатые мишени для магнетронного распыления

I. Предыстория и значение стандарта

Технология магнетронного распыления является ключевым процессом в современном микроэлектронном производстве. Качество и эксплуатационные характеристики игольчатых мишеней, являющихся основным материалом, напрямую влияют на результаты нанесения покрытия.

Разработка стандарта GB/T 34649—2017 заполняет пробел в отечественных стандартах на игольчатые мишени для магнетронного распыления, обеспечивая научную основу для контроля качества продукции.

II. Сравнительный анализ стандартных структур

Размеры	Характеристики старого стандарта	Усовершенствования нового стандарта	Международная интеграция
Требования к химическому составу	Отсутствие единого стандарта	Четкое ограничение марки и содержания примесей	Соответствие международным стандартам
Точность размеров	Широкий диапазон допусков	Уточнено до ±5 мкм	Соответствует требованиям высокотехнологичной промышленности
Характеристики сварки	Отсутствуют четкие требования	Введение показателей свариваемости и контроля дефектов	Повышение стабильности процесса

III. Анализ основных положений и рекомендации по внедрению

1. Контроль химического состава

Химическая чистота мишени напрямую связана с эксплуатационными характеристиками пленки. В Таблице 1 указаны пределы содержания примесей для различных марок, в частности установлены строгие верхние пределы для таких ключевых элементов, как железо, никель и медь.

Рекомендации по внедрению: рекомендуется использовать ICP-MS или масс-спектрометрию тлеющего разряда, чтобы гарантировать соответствие требованиям Таблицы 1.

2. Контроль размеров и допусков

Точность размеров имеет решающее значение для равномерности распыления. Стандарт предусматривает, что неуказанные допуски должны быть основаны на среднем уровне m GB/T1804.

Рекомендация по внедрению: Используйте координатно-измерительную машину или лазерный дальномер для полноразмерного контроля, чтобы убедиться, что обработанные детали соответствуют требованиям допусков.

3. Оптимизация производительности сварки

Для целей сварки стандарт предусматривает, что скорость сварки должна быть не менее 95%, а максимальное единичное повреждение не должно превышать 2%. Это ключевой показатель для улучшения прочности соединения объединительной платы.

Рекомендации по внедрению: Примите метод ультразвукового контроля, рекомендованный YS/T837, и оптимизируйте производительность сварки с помощью термической обработки.

IV. Обеспечение качества и управление цепочкой поставок

Пример: Опыт предприятия по производству электроники в соблюдении стандартов

Внедрив автоматизированное испытательное оборудование и создав комплексную систему контроля входящих материалов, компания достигла 100% уровня квалификации целевых материалов, что значительно повысило стабильность процесса напыления покрытий.

V. Анализ будущего технологического развития

С разработкой высокотехнологичных электронных устройств, таких как чипы 5G и ИИ, к целевым материалам предъявляются более высокие требования:

• Сверхчистота: содержание примесей необходимо дополнительно снизить до уровня ppb
• Контроль микроструктуры: размер зерна приближается к наномасштабу
• Многофункциональный композит: разработка технологии многослойных покрытий