SJ/T 11552-2015
Методы испытаний для измерения содержания межузельного кислорода в кремниевых пластинах методом инфракрасного поглощения с P-поляризованным излучением, падающим под углом Брюстера (Англоязычная версия)

Стандартный №: SJ/T 11552-2015
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2015
Разместил: Professional Standard - Electron
Последняя версия: SJ/T 11552-2015

сфера применения: Этот стандарт определяет метод измерения содержания межузельного кислорода в кремнии с использованием инфракрасной абсорбционной спектрометрии падающего под углом Брюстера P-поляризованного излучения. Этот стандарт подходит для тестирования содержания межузельного кислорода в монокристаллах кремния с удельным сопротивлением более 5 Ом·см при комнатной температуре и особенно подходит для измерения содержания кислорода в образцах тонких кремниевых пластин. Допустимый диапазон содержания кислорода — от 1 × 10 ат·см до максимальной твердой растворимости межузельного кислорода в монокристаллах кремния.

SJ/T 11552-2015 История

2015 SJ/T 11552-2015 Методы испытаний для измерения содержания межузельного кислорода в кремниевых пластинах методом инфракрасного поглощения с P-поляризованным излучением, падающим под углом Брюстера

Специальные темы по стандартам и нормам

Инфракрасная абсорбционная спектроскопия органических веществ Спектр инфракрасного поглощения радона Промышленность инфракрасной абсорбционной спектроскопии Пик инфракрасного поглощения оксида кремния Кремнезем инфракрасного поглощения Пик инфракрасного поглощения оксида кремния Кремнезем + инфракрасное излучение + пик поглощения Кремний + пик инфракрасного поглощения Пик инфракрасного поглощения оксида кремния Кремнезем инфракрасного поглощения Пик поглощения сложного эфира в инфракрасном спектре Пик поглощения эфира в инфракрасном спектре

стандарты и спецификации

ASTM F1619-95(2000)e1 Стандартный метод измерения содержания межузельного кислорода в кремниевых пластинах методом инфракрасной абсорбционной спектроскопии с p-поляризованным ASTM F1619-95(2000 Стандартный метод измерения содержания межузельного кислорода в кремниевых пластинах методом инфракрасной абсорбционной спектроскопии с p-поляризованным SJ 20636-1997 Метод определения содержания кислорода и углерода в тонкой кремниевой пластине большого диаметра в микрозоне для использования в ИС ASTM F951-01 Стандартный метод испытаний для определения радиального межузельного изменения содержания кислорода в кремниевых пластинах ASTM F951-96 Стандартный метод испытаний для определения радиального межузельного изменения содержания кислорода в кремниевых пластинах ASTM F951-02 Метод испытания для определения изменения содержания кислорода в радиальном направлении кремниевых пластин ASTM F121-83e1 Стандартный метод определения содержания межузельного кислорода в монокристаллическом кремнии методом инфракрасного поглощения ASTM F1239-02 Метод испытания характеристик кислородного осаждения кремниевых пластин ASTM F1239-94 Стандартные методы испытаний для определения характеристик выделения кислорода кремниевых пластин путем измерения межузельного восстановления кислорода ASTM F1188-00 Стандартный метод определения содержания межузельного атомарного кислорода в кремнии методом инфракрасного поглощения

© 2025. Все права защищены.