ASTM F951-02 - Стандарты и спецификации PDF

ASTM F951-02

Стандартный №
ASTM F951-02
Дата публикации
1970
Разместил
/
Последняя версия
ASTM F951-02
сфера применения
1.1 Настоящий метод испытаний охватывает процедуры выбора испытательной площадки и обработки данных для радиального изменения концентрации межузельного кислорода в срезах кремния, обычно используемых при производстве микроэлектронных полупроводниковых приборов. 1.2 Этот метод испытаний предназначен как для контрольных, так и для производственных испытаний путем выбора подходящего плана испытательных позиций. 1.3 Содержание межклеточного кислорода может быть измерено в соответствии с методами испытаний F 1188 или F 1619, DIN 50438/1, JEIDA 61 или любой другой процедурой, согласованной сторонами испытания. ПРИМЕЧАНИЕ 1 — Метод испытаний F 1366 не основан на измерении поглощения инфракрасного излучения и измеряет общее содержание кислорода, а не содержание межклеточного кислорода. Это также разрушительная техника. Однако его можно использовать для определения радиального изменения содержания кислорода, если внести соответствующие изменения в процедуру испытания. 1.4 Приемлемая толщина и качество поверхности образцов для испытаний указаны в применимых методах испытаний. Этот метод испытаний пригоден для использования на химически протравленных, односторонне и двусторонне полированных кремниевых пластинах или срезах без поверхностных дефектов, которые могли бы отрицательно изменить передачу инфракрасного излучения через испытуемый образец (впоследствии называемый срезом), при условии, что соответствующие методы испытаний на кислород контент выбран. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F951-02 Ссылочный документ

  • ASTM F1188 
  • ASTM F1366 
  • ASTM F1619 Стандартный метод измерения содержания межузельного кислорода в кремниевых пластинах методом инфракрасной абсорбционной спектроскопии с p-поляризованным излучением, падающим под углом Брюстера*1995-10-26 Обновление
  • ASTM F533 Стандартный метод испытаний толщины и изменения толщины кремниевых пластин*1996-10-26 Обновление

ASTM F951-02 История

  • 1970 ASTM F951-02
  • 2001 ASTM F951-01 Стандартный метод испытаний для определения радиального межузельного изменения содержания кислорода в кремниевых пластинах
  • 2002 ASTM F951-96 Стандартный метод испытаний для определения радиального межузельного изменения содержания кислорода в кремниевых пластинах



© 2023. Все права защищены.