1.1 Настоящий метод испытаний охватывает процедуры выбора испытательной площадки и обработки данных для радиального изменения концентрации межузельного кислорода в пластинках кремния, обычно используемых при производстве микроэлектронных полупроводниковых приборов. 1.2 Этот метод испытаний предназначен как для контрольного, так и для производственного испытания посредством выбора соответствующий план испытательного положения.1.3 Содержание межклеточного кислорода может быть измерено в соответствии с методами испытаний F 1188 или F 1619, DIN 50438/1, JEIDA 61 или любой другой процедурой, согласованной сторонами испытания. Примечание 18212;Метод испытаний F 1366 не основан на измерении поглощения инфракрасного излучения и измеряет общее содержание кислорода, а не содержание межклеточного кислорода. Это также разрушительная техника. Однако его можно использовать для определения радиального изменения содержания кислорода, если внести соответствующие изменения в процедуру испытания. 1.4. Приемлемая толщина и качество поверхности испытуемых образцов указаны в применимых методах испытаний. Этот метод испытаний пригоден для использования на химически протравленных, односторонне и двусторонне полированных кремниевых пластинах или срезах без поверхностных дефектов, которые могли бы отрицательно изменить передачу инфракрасного излучения через испытуемый образец (впоследствии называемый срезом), при условии, что соответствующие методы испытаний для содержания кислорода. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.