ASTM F1239-02
Метод испытания характеристик кислородного осаждения кремниевых пластин

Стандартный №

ASTM F1239-02

Дата публикации

2002

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Последняя версия

ASTM F1239-02

сфера применения

1.1 Настоящие методы испытаний охватывают дополнительные процедуры проверки характеристик осаждения кислорода на кремниевых пластинах. Предполагается, что характеристики осадков связаны с количеством межузельного кислорода, теряемого в ходе определенных термических циклов.

1.2 Данные методы испытаний можно использовать для качественного сравнения характеристик осаждения двух или более групп пластин.

1.3 Настоящие методы испытаний могут применяться к любым кремниевым пластинам Чохральского, ни p-типа, ни любой ориентации, толщина, удельное сопротивление и качество поверхности которых таковы, что позволяют определять концентрацию кислорода путем инфракрасного поглощения, и концентрация кислорода в которых такова, что создает измеримая потеря кислорода.

1.4 Эти методы испытаний не подходят для определения ширины или характеристик «оголенной зоны», области вблизи поверхности пластины, которая практически не содержит осадков оксидов.

1.5 Поскольку эти методы испытаний являются разрушительными, необходимо использовать подходящие методы отбора проб.

1.6 Значения, указанные в единицах СИ, считаются стандартными.

1.7 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные указания на опасность приведены в разделе 8.

ASTM F1239-02 Ссылочный документ

• ASTM C28 Стандартные спецификации на гипсовые штукатурки
• ASTM D5127  Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
• ASTM F1188 Стандартный метод определения содержания атомарного кислорода в кремнии методом инфракрасного поглощения с короткой базовой линией
• ASTM F1619 Стандартный метод измерения содержания межузельного кислорода в кремниевых пластинах методом инфракрасной абсорбционной спектроскопии с p-поляризованным излучением, падающим под углом Брюстера
• ASTM F951 Стандартный метод испытаний для определения радиального межузельного изменения содержания кислорода в кремниевых пластинах

ASTM F1239-02 История

• 2002 ASTM F1239-02 Метод испытания характеристик кислородного осаждения кремниевых пластин
• 1994 ASTM F1239-94 Стандартные методы испытаний для определения характеристик выделения кислорода кремниевых пластин путем измерения межузельного восстановления кислорода

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации