ASTM F1810-97
Стандартный метод испытаний для подсчета преимущественно протравленных или декорированных дефектов поверхности кремниевых пластин
- Стандартный №
- ASTM F1810-97
- Дата публикации
- 1997
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM F1810-97(2002)
- Последняя версия
- ASTM F1810-97(2002)
- сфера применения
- 1.1 Этот метод испытаний описывает методику подсчета плотности поверхностных дефектов кремниевых пластин с помощью микроскопического анализа. Примечание 1. Практическое использование метода подсчета дефектов требует предположения, что дефекты распределены по поверхности случайным образом. Если это предположение не выполняется, точность и достоверность этого метода испытаний будут снижены. 1.2 Применение этого метода испытаний ограничено образцами, имеющими отдельные, идентифицируемые дефекты на поверхности кремниевого образца. Типичные образцы преимущественно подвергались травлению согласно Guide F 1809 или эпитаксиальному осаждению, образуя дефекты в структуре кремниевого слоя. 1.3 Толщина и диаметр пластины для этого метода испытаний ограничены только диапазоном или доступными движениями предметного столика микроскопа. 1.4 Настоящий метод испытаний применим к кремниевым пластинам с плотностью дефектов от 0,01 до 10 000 дефектов на см2. Примечание 2. Коммерчески значимый диапазон плотности дефектов составляет от 0,01 до 10 дефектов на см2, но этот метод испытаний распространяется на более высокие уровни дефектов благодаря улучшенной статистической выборке, полученной при более высоких количествах. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1810-97 Ссылочный документ
- ASTM F1241
- ASTM F1725 Стандартное руководство по анализу кристаллографического совершенства слитков кремния
- ASTM F1726 Стандартное руководство по анализу кристаллографического совершенства кремниевых пластин
- ASTM F1727 Стандартная практика обнаружения окислительных дефектов в полированных кремниевых пластинах
- ASTM F1809 Стандартное руководство по выбору и использованию растворов травления для выделения структурных дефектов в кремнии
ASTM F1810-97 История
- 1970 ASTM F1810-97(2002)
- 1997 ASTM F1810-97 Стандартный метод испытаний для подсчета преимущественно протравленных или декорированных дефектов поверхности кремниевых пластин
