EN ISO 14644-14:2016 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 14. Оценка пригодности оборудования к использованию по концентрации частиц в воздухе.
Эта часть ISO 14644 определяет методологию оценки пригодности оборудования для чистых помещений (например, машин, измерительных приборов, технологического оборудования, компонентов и инструментов) для использования в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых зонах в отношении чистоты переносимых по воздуху твердых частиц, как указано в ISO 14644-1. зафиксированный. Диапазон размеров частиц составляет от 0,1 мкм до 5 мкм или более (указан в ISO 14644-1). ПРИМЕЧАНИЕ. Если компетентные органы налагают дополнительные рекомендации или ограничения, могут потребоваться соответствующие корректировки методологии оценки. Следующие аспекты не рассматриваются в данной части ISO 14644: Оценка пригодности к биозагрязнению; Проверка пригодности средств и методов дезактивации; очищаемость оборудования и материалов; Требования к конструктивному решению устройств и выбору материалов; физические свойства материала (например, электростатические, термические свойства); Оптимизировать производительность оборудования для конкретных технологических процессов; Выбор и применение статистических методов тестирования; Региональные протоколы и требования безопасности.
EN ISO 14644-14:2016 Ссылочный документ
ISO 14644-1:2015 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц
ISO 14644-3:2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний.
ISO 14644-7:2004 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 7. Изолирующие устройства (вытяжные шкафы, перчаточные боксы, изоляторы и мини-среды).
ISO 14644-9:2012 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц
ISO 8573-8:2004 Сжатый воздух. Часть 8. Методы определения содержания твердых частиц по массовой концентрации
JIS B 9926:1991 Чистые помещения. Методы испытаний на образование пыли от движущихся механизмов.
VDI 2083 Blatt 9.1-2006 Технология чистых помещений – совместимость с требуемой чистотой и чистотой поверхности.
EN ISO 14644-14:2016 История
2016EN ISO 14644-14:2016 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 14. Оценка пригодности оборудования к использованию по концентрации частиц в воздухе.