Настоящее руководство VDI в основном касается загрязнения твердыми частицами. Химическое (молекулярное), биологическое и радиологическое загрязнение поверхности не является конкретным вопросом в настоящем руководстве; то же самое справедливо и для технологических сред. В настоящем руководстве приведены определения терминов «совместимость с требуемой чистотой» и «совместимость чистых помещений», а также на основе этих определений классификация и процедуры, служащие для установления пригодности оборудования и компонентов кондиционирования воздуха для использования в средах, чистота воздуха и другие параметры которых оцениваются. в соответствии с техническими правилами (см. рисунок 3). Кроме того, он описывает выделение газов и электростатические характеристики оборудования и компонентов системы кондиционирования воздуха, связанных с контролируемой средой. Чистота поверхности и ее классификация также входят в сферу действия настоящего руководства. Совместимость оборудования с требуемой чистотой включает в себя все загрязнения, имеющие отношение к технологическому процессу. Методы измерения, описанные в этом руководстве и служащие для оценки совместимости оборудования с требуемой чистотой, включают совместимость с чистыми помещениями, чистоту поверхностных частиц и поведение по выделению газов.
VDI 2083 Blatt 9.1-2006 Ссылочный документ
DIN 50452-1:1995 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Метод испытаний для анализа частиц в жидкостях. Часть 1. Микроскопическое определение частиц.
DIN 53804-2:1985 Статистическая интерпретация данных; счетные (дискретные) характеристики
DIN EN 1335-1:2002 Офисная мебель. Офисный рабочий стул. Часть 1. Размеры; Определение размеров; Немецкая версия EN 1335-1:2000
DIN EN 1335-2:2002 Офисная мебель. Офисный рабочий стул. Часть 2. Требования безопасности.
DIN EN 1335-3:2002 Офисная мебель. Офисный рабочий стул. Часть 3. Методы испытаний на безопасность.
DIN EN 13779:2005 Вентиляция нежилых зданий – общие принципы и требования к системам вентиляции и кондиционирования.
DIN EN ISO 4287:1998 Геометрические спецификации изделия (GPS) – Текстура поверхности: метод профиля – Термины, определения и параметры текстуры поверхности
DIN EN ISO 8785 Геометрические спецификации изделия (GPS). Несовершенства поверхности. Термины, определения и параметры (ISO 8785:1998); Немецкая версия EN ISO 8785:1999.
VDI 2083 Blatt 9.1-2006 Технология чистых помещений – совместимость с требуемой чистотой и чистотой поверхности. было изменено на VDI 2083 Blatt 4-1996 Технология чистых помещений – чистота поверхности.
VDI 2083 Blatt 9.1-2006 Технология чистых помещений – совместимость с требуемой чистотой и чистотой поверхности. было изменено на VDI 2083 Blatt 8-2002 Технология чистых помещений - Пригодность рабочих материалов для чистых помещений.