Настоящий стандарт определяет методы измерения размера и количества частиц, образующихся при работе движущихся механизмов оборудования, используемого в чистых помещениях и других чистых средах. Примечание() Производственное оборудование, измерительное оборудование, роботы, передающее оборудование и т. д.
JIS B 9926:1991 История
1991JIS B 9926:1991 Чистые помещения. Методы испытаний на образование пыли от движущихся механизмов.