ISO 14644-9:2012
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц

Стандартный №

ISO 14644-9:2012

Дата публикации

2012

Разместил

International Organization for Standardization (ISO)

состояние

быть заменен

быть заменен

ISO 14644-9:2022

Последняя версия

ISO 14644-9:2022

ISO 14644-9:2012 История

• 2022 ISO 14644-9:2022 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Оценка чистоты поверхности по концентрации частиц
• 2012 ISO 14644-9:2012 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц