Данный стандарт регулирует процедуры калибровки приборов для обнаружения утечек, основанных на масс-спектрометрии, в области вакуумной техники. Он охватывает определение основных параметров, методы измерений, требования к оборудованию и условия проведения калибровки. Стандарт обеспечивает единообразие и точность результатов измерений, что позволяет повысить надежность и соответствие техническим требованиям. В документе также приведены рекомендации по подготовке образцов, проведению испытаний и оформлению результатов. Основное внимание уделено обеспечению воспроизводимости и точности измерений, а также контролю качества при проведении калибровки. В тексте описаны общие принципы, применяемые в процессе калибровки, и приведены примеры, иллюстрирующие их применение.
*** Обратите внимание: это описание может быть неточным, обратитесь к официальной документации.