Этот стандарт устанавливает общие требования к калибровке приборов для обнаружения утечек с использованием масс-спектрометров в вакуумной технике. Он описывает методы проведения калибровки, условия экспериментов и критерии оценки точности измерений. Стандарт включает в себя рекомендации по подготовке оборудования, выбору образцов и проведению проверок. Также указывается порядок оформления протоколов и хранения данных. Документ предназначен для использования в лабораториях и производственных организациях, где проводятся измерения утечек в вакуумных системах.
*** Обратите внимание: это описание может быть неточным, обратитесь к официальной документации.