Настоящий стандарт определяет метод калибровки течеискателей масс-спектрометрического типа (далее - течеискатели), в которых в качестве детектора используется масс-спектрометр и которые имеют встроенную систему вакуумной вытяжки для поддержания трубки анализатора в работоспособном вакуумном состоянии. , Этот метод в основном применяется при использовании гелия 4. Он также применим и к использованию других газов.
KS A 0083-2013 История
2023KS A 0083-2023 Общие правила масс-спектрометра (типа течеискателя) для системы калибровки
0000 KS A 0083-2013(2018)
2013KS A 0083-2013 Общие правила масс-спектрометра (типа течеискателя) для системы калибровки
2002KS A 0083-2002 Калибровка течеискателя масс-спектрометрического типа