Этот стандарт определяет требования, методы испытаний, правила контроля и маркировку, упаковку, транспортировку, хранение, сертификат качества и содержание контракта (или заказа) на порошок рутения, используемый для распыления мишеней на основе рутения в производстве жестких дисков и интегральных схем. Настоящий стандарт применяется к приготовлению порошка рутения (далее называемого порошком рутения) для распыляемых мишеней на основе рутения в производстве жестких дисков и интегральных схем.
YS/T 1068-2015 История
2015YS/T 1068-2015 Рутениевый порошок для мишени распыления рутения