GB/T 29508-2013
Монокристаллический кремний толщиной 300 мм в виде нарезанных и измельченных ломтиков. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 29508-2013
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2013
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- Последняя версия
- GB/T 29508-2013
- заменить на
- ABNT NBR 14519-2011
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет термины, определения и технические требования к пластинам для резки и шлифования монокристаллов кремния (называемым кремниевыми пластинами) диаметром 300 мм, p-типа, ориентацией кристаллов и удельным сопротивлением 0,5 Ом·см~20 Ом·. см. , методы испытаний, правила и знаки контроля, упаковка, транспортирование, хранение и т.п. Настоящий стандарт распространяется на круглые кремниевые пластины, полученные путем резки и шлифования монокристаллов Чохральского диаметром 300 мм. Продукция будет далее перерабатываться в полированные пластины для производства подложек для интегральных схем с шириной линии 90 нм.
GB/T 29508-2013 Ссылочный документ
- GB/T 11073 Стандартный метод измерения изменения радиального удельного сопротивления на срезах кремния.
- GB/T 13388 Способ измерения кристаллографической ориентации плоских поверхностей на пластинах и пластинах монокристаллического кремния рентгеновскими методами
- GB/T 14140 Метод испытаний для измерения диаметра полупроводниковой пластины
- GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
- GB/T 1550 Методы испытаний типа проводимости примесных полупроводниковых материалов*， 2018-12-28 Обновление
- GB/T 1551 Метод испытаний для измерения удельного сопротивления монокристаллического кремния — метод линейного четырехточечного зонда и метод двухточечного зонда постоянного тока.*， 2021-05-21 Обновление
- GB/T 1554 Метод испытания кристаллографического совершенства кремния методами избирательного травления
- GB/T 1555 Метод определения кристаллической ориентации монокристалла полупроводника*， 2023-08-06 Обновление
- GB/T 1557 Метод испытаний для определения содержания межузельного кислорода в кремнии методом инфракрасного поглощения*， 2018-09-17 Обновление
- GB/T 1558 Метод определения содержания замещающего атомного углерода кремния методом инфракрасного поглощения
- GB/T 26067 Стандартный метод испытаний размеров надрезов на кремниевых пластинах
- GB/T 2828.1 Процедура проверки путем подсчета выборки, часть 1: План выборочного контроля по партиям, полученный по пределу приемочного качества (AQL)
- GB/T 29504 Монокристаллический кремний 300 мм
- GB/T 29507 Метод испытаний для измерения плоскостности, толщины и изменения общей толщины кремниевых пластин. Автоматическое бесконтактное сканирование.
- GB/T 6616 Бесконтактный вихретоковый метод измерения удельного сопротивления полупроводниковых пластин и листов полупроводниковых пленок.*， 2023-08-06 Обновление
- GB/T 6624 Стандартный метод измерения качества поверхности полированных пластинок кремния путем визуального контроля
- YS/T 26 Метод контроля контура края кремниевой пластины*， 2016-07-11 Обновление
GB/T 29508-2013 История
- 2013 GB/T 29508-2013 Монокристаллический кремний толщиной 300 мм в виде нарезанных и измельченных ломтиков.
GB/T 29508-2013 Монокристаллический кремний толщиной 300 мм в виде нарезанных и измельченных ломтиков. было изменено на ABNT NBR 14519-2011 Электронные счетчики электроэнергии - Спецификация.
