VDI 2083 Blatt 7-2006
Технология чистых помещений – Чистота технологических сред

Стандартный №

VDI 2083 Blatt 7-2006

Дата публикации

2006

Разместил

Association of German Mechanical Engineers

состояние

быть заменен 2015-09

быть заменен

VDI 2083 Blatt 7-2015

VDI 2083 BLATT 7-2013

Последняя версия

VDI 2083 Blatt 7-2015

заменять

VDI 2083 Blatt 7-2000

сфера применения

Очистка технологических сред является элементом чистой обработки. Уровень чистоты технологических сред зависит от множества потенциальных источников загрязнения. В этой части директивы VDI 2083 в первую очередь оценивается влияние загрязнения твердыми частицами. Загрязнение твердыми частицами продуктов, произведенных в чистых помещениях, не подпадает под действие настоящего руководства.

VDI 2083 Blatt 7-2006 Ссылочный документ

• DIN 50450-1:1987 Испытание материалов для полупроводниковой техники; определение примесей в газах-носителях и легирующих газах; определение примеси воды в водороде, кислороде, азоте, аргоне и гелии с помощью ячейки с пятиокисью дифосфора
• DIN 50450-2:1991 Испытание материалов для полупроводниковой техники; определение примесей в газах-носителях и легирующих газах; определение примеси кислорода в N, Ar, He, Ne и H с помощью гальванического элемента
• DIN 50450-3:1991 Испытание материалов для полупроводниковой техники; определение примесей в газах-носителях и легирующих газах; определение примеси метана в H, O, N, Ar и He с помощью пламенно-ионизационного детектора (ПИД)
• DIN 50452-1:1995 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Метод испытаний для анализа частиц в жидкостях. Часть 1. Микроскопическое определение частиц.
• DIN 50452-2:1991 Испытание материалов для полупроводниковой техники; метод испытаний для анализа частиц в жидкостях; определение частиц с помощью оптических счетчиков частиц
• DIN 58356-12:2000  Фильтрующие элементы. Мембранные фильтрующие элементы. Часть 12. Испытание гидрофобных мембранных фильтров на целостность водой.
• DIN 58356-2:2000  Мембранные фильтрующие элементы. Часть 2. Испытания держателей давления.
• VDI 2083 Blatt 1-2005 Технологии чистых помещений – Классы чистоты воздуха по твердым частицам
• VDI 2083 Blatt 2-1996 Reinraumtechnik - Bau@ Betrieb und Instandhaltung
• VDI 2083 Blatt 3-2005 Технологии чистых помещений. Метрология и методы испытаний
• VDI 2083 Blatt 4-1996 Технология чистых помещений – чистота поверхности
• VDI 2083 Blatt 4.1-2005 Технологии чистых помещений – Планирование@ строительства и ввод в эксплуатацию чистых помещений
• VDI 2083 Blatt 5-1996 Технология чистых помещений – тепловой комфорт

VDI 2083 Blatt 7-2006 История

• 2015 VDI 2083 Blatt 7-2015 Технологии чистых помещений - Сверхчистые среды - Качество, поставка, дистрибуция
• 2006 VDI 2083 Blatt 7-2006 Технология чистых помещений – Чистота технологических сред
• 2000 VDI 2083 Blatt 7-2000 Технология чистых помещений – Чистота технологических сред
• 1992 VDI 2083 Blatt 7-1992 Рейнраумтехник; Райнхайт фон Процессмедиен