DIN 50450-3:1991 Испытание материалов для полупроводниковой техники; определение примесей в газах-носителях и легирующих газах; определение примеси метана в H, O, N, Ar и He с помощью пламенно-ионизационного детектора (ПИД)
1991DIN 50450-3:1991 Испытание материалов для полупроводниковой техники; определение примесей в газах-носителях и легирующих газах; определение примеси метана в H, O, N, Ar и He с помощью пламенно-ионизационного детектора (ПИД)