DIN 50450-1:1987
Испытание материалов для полупроводниковой техники; определение примесей в газах-носителях и легирующих газах; определение примеси воды в водороде, кислороде, азоте, аргоне и гелии с помощью ячейки с пятиокисью дифосфора

Стандартный №

DIN 50450-1:1987

Дата публикации

1987

Разместил

German Institute for Standardization

состояние

быть заменен

быть заменен

DIN 50450-1:1987-08

Последняя версия

DIN 50450-1:1987-08

сфера применения

Стандарт определяет метод испытаний для определения примесей воды в газах-носителях и легирующих газах (H2, O, N, Ar, He), используемых в полупроводниковой технологии.

DIN 50450-1:1987 История

• 1987 DIN 50450-1:1987-08 Испытание материалов для полупроводниковой техники; определение примесей в газах-носителях и легирующих газах; определение примеси воды в водороде, кислороде, азоте, аргоне и гелии с помощью ячейки с пятиокисью дифосфора
• 1987 DIN 50450-1:1987 Испытание материалов для полупроводниковой техники; определение примесей в газах-носителях и легирующих газах; определение примеси воды в водороде, кислороде, азоте, аргоне и гелии с помощью ячейки с пятиокисью дифосфора

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации