ASTM F1844-97(2008)
Стандартная практика измерения листового сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием бесконтактного вихретокового измерителя
- Стандартный №
- ASTM F1844-97(2008)
- Дата публикации
- 1997
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM F1844-97(2016)
- Последняя версия
- ASTM F1844-97(2016)
- сфера применения
- Удельное сопротивление является основной величиной для характеристики и спецификации стеклянных пластин с покрытием, используемых для плоских дисплеев. Сопротивление листа также является основной величиной для определения характеристик, спецификации и мониторинга процессов изготовления тонких пленок. Эта практика не требует подготовки образца. Метод вихревых токов не разрушает измеряемую тонкую пленку. Специальные геометрические поправочные коэффициенты, необходимые для некоторых измерений удельного электросопротивления с помощью четырехточечного зонда, не требуются для определения истинного поверхностного сопротивления, если между датчиками имеется непрерывный слой проводящей тонкой пленки. Методы испытаний F 673 относятся к схеме испытаний, при которой преобразователи и образец (кремниевая пластина полупроводникового качества) жестко расположены. Аналогичное оборудование коммерчески доступно для тестирования больших стеклянных или пластиковых подложек, не предусмотренных в методах испытаний F 673. Также можно использовать ручной зонд, в зависимости от требуемой глубины горловины. Для использования в качестве эталонного метода зонд и измерительное оборудование перед использованием должны быть проверены и аттестованы в соответствии с процедурами методов испытаний F 673 (с 9.1.1 по 9.1.3 и с 9.1.4.2 по 9.1.4.5). использовал. Для использования в качестве обычного метода обеспечения качества эта практика может применяться с периодической аттестацией зонда и измерительной аппаратуры по процедурам методов испытаний F 673 (9.1.1–9.1.3 и 9.1.4.2–9.1.4.5). Стороны испытания должны согласовать адекватные квалификационные интервалы для испытательного оборудования. 1.1 В настоящей методике описаны методы измерения поверхностного электрического сопротивления напыленных тонких проводящих пленок, нанесенных на большие изолирующие подложки (стекло или пластик), используемых при изготовлении плоских информационных дисплеев. . 1.2 Данная методика предназначена для использования с методами испытаний F 673. Данная методика относится к «руководству» по испытаниям F 673. процедура измерения, при которой оператор помещает измерительную головку на испытуемый образец, а затем лично активирует испытательное оборудование. Полученные данные испытаний могут быть сведены оператором в таблицу или, альтернативно, отправлены в компьютерную систему регистрации данных. Для этой практики применимы оба метода I и II метода испытаний F 673 (пункты с 3.1 по 3.3.3 метода испытаний F 673). 1.3 Удельное сопротивление листа в диапазоне от 0,020 до 3000 &#Ω С помощью этой методики можно измерить проводимость листа на квадрат (проводимость листа в диапазоне от 3 до 10–4 до 50 мОм на квадрат). Предполагается, что поверхностное сопротивление одинаково в исследуемой области. Примечание 18212; Типичные устройства для ручных испытаний, как описано в этом методе, измеряют и выдают отчеты в единицах «мос на квадрат»; это обратная величина «Ом на квадрат». 1.4 Данная практика применима только к плоским поверхностям. 1.5 Эта практика не является разрушительной. Его можно использовать на производственных панелях для обеспечения единообразия производства. 1.6 Значения, указанные в единицах СИ, следует считать стандартными. Никакие другие единицы измерения в настоящий стандарт не включены. 1.7 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1844-97(2008) Ссылочный документ
- ASTM F673 Стандартные методы измерения удельного сопротивления срезов полупроводников или листового сопротивления полупроводниковых пленок бесконтактным вихретоковым датчиком
ASTM F1844-97(2008) История
- 2016 ASTM F1844-97(2016) Стандартная практика измерения листового сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием бесконтактного вихретокового измерителя
- 1997 ASTM F1844-97(2008) Стандартная практика измерения листового сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием бесконтактного вихретокового измерителя
- 1997 ASTM F1844-97(2002) Стандартная практика измерения листового сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием бесконтактного вихретокового измерителя
- 1997 ASTM F1844-97 Стандартная практика измерения листового сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием бесконтактного вихретокового измерителя
