ASTM F1844-97(2016)
Стандартная практика измерения листового сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием бесконтактного вихретокового измерителя

Стандартный №

ASTM F1844-97(2016)

Дата публикации

2016

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Последняя версия

ASTM F1844-97(2016)

сфера применения

1.1 В данной методике описаны методы измерения листового электрического сопротивления напыленных тонких проводящих пленок, нанесенных на большие изолирующие подложки (стекло или пластик), используемых при изготовлении плоских информационных дисплеев. 1.2 Данная методика предназначена для использования с методами испытаний F673. Эта практика относится к «ручной» процедуре измерения, при которой оператор помещает измерительную головку на испытуемый образец, а затем лично активирует испытательное оборудование. Полученные данные испытаний могут быть сведены оператором в таблицу или, альтернативно, отправлены в компьютерную систему регистрации данных. Для этой практики применимы оба метода I и II метода испытаний F673 (пункты с 3.1 по 3.3.3 метода испытаний F673). 1.3 Удельное сопротивление листа в диапазоне от 0,020 до 3000 Ом на квадрат (проводимость листа в диапазоне от 3×10–4 до 50 мОм на квадрат) может быть измерено с помощью этой методики. Предполагается, что поверхностное сопротивление одинаково в исследуемой области. ПРИМЕЧАНИЕ 1 — Типичные устройства для ручных испытаний, как описано в этой методике, измеряют и выдают отчеты в единицах «мос на квадрат»; это обратное значение «Ом на квадрат». 1.4 Данная практика применима только к плоским поверхностям. 1.5 Эта практика не является разрушительной. Его можно использовать на производственных панелях для обеспечения единообразия производства. 1.6 Значения, указанные в единицах СИ, следует считать стандартными. Никакие другие единицы измерения в настоящий стандарт не включены. 1.7 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F1844-97(2016) Ссылочный документ

• ASTM F673 Стандартные методы измерения удельного сопротивления срезов полупроводников или листового сопротивления полупроводниковых пленок бесконтактным вихретоковым датчиком

ASTM F1844-97(2016) История

• 2016 ASTM F1844-97(2016) Стандартная практика измерения листового сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием бесконтактного вихретокового измерителя
• 1997 ASTM F1844-97(2008) Стандартная практика измерения листового сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием бесконтактного вихретокового измерителя
• 1997 ASTM F1844-97(2002) Стандартная практика измерения листового сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием бесконтактного вихретокового измерителя
• 1997 ASTM F1844-97 Стандартная практика измерения листового сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием бесконтактного вихретокового измерителя