ASTM F1844-97(2002) Стандартная практика измерения листового сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием бесконтактного вихретокового измерителя
Удельное сопротивление является основной величиной для характеристики и спецификации стеклянных пластин с покрытием, используемых для плоских дисплеев. Сопротивление листа также является основной величиной для определения характеристик, спецификации и мониторинга процессов изготовления тонких пленок. Эта практика не требует подготовки образца. Метод вихревых токов не разрушает измеряемую тонкую пленку. Специальные геометрические поправочные коэффициенты, необходимые для некоторых измерений удельного электросопротивления с помощью четырехточечного зонда, не требуются для определения истинного поверхностного сопротивления, если между датчиками имеется непрерывный слой проводящей тонкой пленки. Методы испытаний F 673 относятся к схеме испытаний, при которой преобразователи и образец (кремниевая пластина полупроводникового качества) жестко расположены. Аналогичное оборудование коммерчески доступно для тестирования больших стеклянных или пластиковых подложек, не предусмотренных в методах испытаний F 673. Также можно использовать ручной зонд, в зависимости от требуемой глубины горловины. Для использования в качестве эталонного метода зонд и измерительное оборудование перед использованием должны быть проверены и аттестованы в соответствии с процедурами методов испытаний F 673 (с 9.1.1 по 9.1.3 и с 9.1.4.2 по 9.1.4.5). использовал. Для использования в качестве обычного метода обеспечения качества эта практика может применяться с периодической аттестацией зонда и измерительной аппаратуры по процедурам методов испытаний F 673 (9.1.1–9.1.3 и 9.1.4.2–9.1.4.5). Стороны испытания должны согласовать адекватные квалификационные интервалы для испытательного оборудования. 1.1 В настоящей методике описаны методы измерения поверхностного электрического сопротивления напыленных тонких проводящих пленок, нанесенных на большие изолирующие подложки (стекло или пластик), используемых при изготовлении плоских информационных дисплеев. .1.2 Этот метод предназначен для использования с методами испытаний F 673. Этот метод относится к «ручной» процедуре измерения, при которой оператор помещает измерительную головку на испытуемый образец, а затем лично активирует испытательное оборудование. Полученные данные испытаний могут быть сведены оператором в таблицу или, альтернативно, отправлены в компьютерную систему регистрации данных. Оба метода I и II метода испытаний F 673 (пункты 3.1–3.3.3 метода испытаний F 673) применимы к этой практике. 1.3 Удельное сопротивление листа в диапазоне от 0,020 до 3000 на квадрат (проводимость листа в диапазоне 3 на 10- С помощью этой практики можно измерить от 4 до 50 млн. кв.м. Предполагается, что поверхностное сопротивление является одинаковым в исследуемой области. Примечание 18212; Типичные ручные испытательные стенды, как описано в этом методе, измеряют и выдают отчеты в единицах «МОС на квадрат»; это обратное значение «Ом на квадрат». 1.4 Этот метод применим только к плоским поверхностям. 1.5 Этот метод не является разрушительным. Его можно использовать на производственных панелях для обеспечения единообразия производства. 1.6 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1844-97(2002) История
2016ASTM F1844-97(2016) Стандартная практика измерения листового сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием бесконтактного вихретокового измерителя
1997ASTM F1844-97(2008) Стандартная практика измерения листового сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием бесконтактного вихретокового измерителя
1997ASTM F1844-97(2002) Стандартная практика измерения листового сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием бесконтактного вихретокового измерителя
1997ASTM F1844-97 Стандартная практика измерения листового сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием бесконтактного вихретокового измерителя